真空镀膜设备通用技术条件

Vacuum coating plant generic specification

GB/T 11164-1999已废止国家标准

标准状态

发布于：1999-04-08

实施于：1999-09-01

已废止

标准号GB/T 11164-1999

标准状态已废止

发布日期1999-04-08

实施日期1999-09-01

中国标准分类号J78 真空技术与设备

国际标准分类号23.160 真空技术

主管部门中国机械工业联合会

技术归口中国机械工业联合会

起草单位上海曙光机械制造厂

本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在10～10Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。