真空技术扩散硅压阻真空计

JB/T 10553-2006现行行业标准

标准状态

发布于：2006-05-06

实施于：2006-10-01

废止

标准号JB/T 10553-2006

标准状态现行

发布日期2006-05-06

实施日期2006-10-01

中国标准分类号J78 真空技术与设备

国际标准分类号23.160 真空技术

发布部门国家发展和改革委员会

技术归口全国真空技术标准化技术委员会

起草单位沈阳真空技术研究所

起草人吴春阳、苏玉萍

本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存。本标准适用于测量压力为（100～1X105）Pa的扩散硅压阻真空计。