半导体用透明石英玻璃管
标准状态
发布于：1995-11-23
实施于：1996-03-01
已废止
基本信息
标准简介
本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法，检验规则及标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物作原料，应用于半导体工业的透明石英玻璃管（以下简称石英玻璃管）。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准。
内容预览
本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法，检验规则及标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物作原料，应用于半导体工业的透明石英玻璃管（以下简称石英玻璃管）。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准。