半导体工业氮氧化物排放要求

Semiconductor Industry Nitrogen Oxide Emission Requirements

T/CIECCPA 007-2024现行团体标准

标准状态

发布于：2024-03-04

实施于：2024-03-08

废止

标准号T/CIECCPA 007-2024

标准状态现行

发布日期2024-03-04

实施日期2024-03-08

中国标准分类号Z05 污染控制技术规范

国际标准分类号13.040.40 固定源排放限值

发布部门中国工业节能与清洁生产协会

团体名称中国工业节能与清洁生产协会

起草单位浙江芯科半导体有限公司、杭州慧翔电液技术开发有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、大连华邦化学有限公司、东莞南方半导体科技有限公司、苏州艾特斯环保设备有限公司、上海协和环境设备有限公司

起草人李京波、王小周、张梦龙、刘黎明、张瀛、周礼誉、高嵩、杨荣博、钱昊、韩理想、袁松、王琨强、汪禹、邓向辉、阳志超、乔良、周阳、李双、王浩清、张坤

本文件规定了半导体行业工业生产过程中产生的大气污染物氮氧化物排放标准限值、检测要求、达标判定的要求。本文件适用于半导体工业氮氧化物排放。