表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution
标准状态
发布于：2012-07-31
实施于：2013-02-01
废止
基本信息
GB/T 28632-2012
现行
2012-07-31
2013-02-01
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心
徐建、陆敏、辛立辉、何丹农、吴立敏、朱丽娜、张冰
标准简介
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
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