氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定
标准状态
发布于：2014-10-14
实施于：2015-04-01
已废止
基本信息
YS/T 987-2014
已废止
2014-10-14
2015-04-01
工业和信息化部
全国有色金属标准化技术委员会
四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司等
敖细平、王波 等
标准简介
本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法，主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。 本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.00001%～1.00%。
内容预览
