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微电子学光掩蔽技术术语

SJ/T 10584-1994现行行业标准

标准状态

发布于：1994-08-08
实施于：1994-12-01
废止

基本信息

SJ/T 10584-1994
现行
1994-08-08
1994-12-01
L55 微电路综合
电子工业部

标准简介

本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。 本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。

内容预览

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