表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth
标准状态
发布于：2013-07-19
实施于：2014-03-01
废止
基本信息
GB/T 29557-2013
现行
2013-07-19
2014-03-01
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
中山大学、中国科学院大连化学物理研究所、浙江大学
陈建、张训生、张卫红、盛世善、谢方艳、龚力
标准简介
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。
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