硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection

GB/T 17169-1997已废止国家标准

标准状态

发布于：1997-12-22

实施于：1998-08-01

已废止

标准号GB/T 17169-1997

标准状态已废止

发布日期1997-12-22

实施日期1998-08-01

中国标准分类号H24 金相检验方法

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位南开大学、天津市半导体材料厂