半导体制造设备人机界面规范

SJ/T 11763-2020现行行业标准

标准状态

发布于：2020-12-09

实施于：2021-04-01

废止

标准号SJ/T 11763-2020

标准状态现行

发布日期2020-12-09

实施日期2021-04-01

中国标准分类号L95 电子工业生产设备综合

国际标准分类号31.55

发布部门工业和信息化部

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

起草人付金生、冯亚彬、程朝阳等

适用于半导体制造设备