200mm硅外延片

200mm silicon epitaxial wafer

GB/T 35310-2017现行国家标准

标准状态

发布于：2017-12-29

实施于：2018-07-01

废止

标准号GB/T 35310-2017

标准状态现行

发布日期2017-12-29

实施日期2018-07-01

中国标准分类号H82 元素半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院

起草人马林宝、骆红、杨素心、杨帆、金龙

本标准规定了直径200mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。