硅退火片规范

Specification for silicon annealed wafers

GB/T 26069-2010已废止国家标准

标准状态

发布于：2011-01-10

实施于：2011-10-01

已废止

标准号GB/T 26069-2010

标准状态已废止

发布日期2011-01-10

实施日期2011-10-01

中国标准分类号H80 半金属与半导体材料综合

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位万向硅峰电子股份有限公司、宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司、有研半导体材料股份公司

起草人楼春兰、孙燕、王飞尧、黄笑容、朱兴萍、宫龙飞、方强

本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于线宽l80nm、130nm和90nm：工艺退火硅片。