MEMS电场传感器通用技术条件

General specification for MEMS electric field sensor

GB/T 35086-2018现行国家标准

标准状态

发布于：2018-05-14

实施于：2018-12-01

废止

标准号GB/T 35086-2018

标准状态现行

发布日期2018-05-14

实施日期2018-12-01

中国标准分类号L55 微电路综合

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位中国科学院电子学研究所、西安西谷微电子有限责任公司、中机生产力促进中心

起草人夏善红、彭春荣、程红兵、朱悦、李海斌、郑凤杰、白巍

本标准规定了MEMS电场传感器（以下简称“传感器”）的原材料、结构组成、技术要求、试验项目和方法、检验规则、包装、存储和运输。本标准适用于MEMS电场传感器的研制、生产和采购。其他类型的电场传感器可参照使用。