半导体材料术语
Terminology of semiconductor materials
标准状态
发布于：2024-04-25
实施于：2024-11-01
废止
基本信息
GB/T 14264-2024
现行
2024-04-25
2024-11-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 14264-2009
国家标准化管理委员会
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标准简介
本文件界定了半导体材料的一般术语和定义，材料制备与工艺及缺陷的术语和定义。以及缩略语。 本文件适用于半导体材料的研发、生产、制备及相关领域。
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