单片超大尺寸掩模板装载盒规范
标准状态
发布于：2022-10-20
实施于：2023-01-01
废止
基本信息
SJ/T 11863-2022
现行
2022-10-20
2023-01-01
工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员
全国半导体设备和材料标准化技术委员
工业和信息化部电子工业标准化研究院、深圳清溢光电股份有限公司
王香、曹可慰、万承华、管琪、张莹、冯亚斌、张理、付雪涛
标准简介
本标准规定了液晶显示器生产工艺中使用超大尺寸掩膜基板装载盒范。 本标准适用于液晶显示器生产工艺中使用盛装超大尺寸掩膜基板装载盒，本标准适用于掩模基板尺寸范围为大于等于850mmX1200mm，小尺寸参照执行。本文件适用于掩膜基板自动装卸处理，尤其对于大尺寸掩模板是必不可少的。
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