表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry

GB/T 32996-2016已废止国家标准

标准状态

发布于：2016-10-13

实施于：2017-09-01

已废止

标准号GB/T 32996-2016

标准状态已废止

发布日期2016-10-13

实施日期2017-09-01

中国标准分类号G04 基础标准与通用方法

国际标准分类号71.040.40 化学分析

主管部门中国科学院

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国科学院

起草单位上海市计量测试技术研究院、中国科学院化学研究所、华东师范大学

起草人徐建、郝萍、吴立敏、陈永康、张云艳、刘芬、朱丽娜、周莹

本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。本方法适用于测定金属上厚度为1nm~10000nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。