硅多晶

Specification for polycrystalline silicon

GB/T 12963-2009现行国家标准

标准状态

发布于：2009-10-30

实施于：2010-06-01

废止

标准号GB/T 12963-2009

标准状态现行

发布日期2009-10-30

实施日期2010-06-01

中国标准分类号H82 元素半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

代替标准GB/T 12963-1996

起草单位峨眉半导体材料厂

起草人罗莉萍、张辉坚、王炎

本标准规定了硅多晶的产品分类?﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则以及标志﹑运输﹑贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。