硅多晶气氛区熔基磷检验方法
Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
标准状态
发布于：2018-12-28
实施于：2019-11-01
废止
基本信息
GB/T 4059-2018
现行
2018-12-28
2019-11-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 4059-2007
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标准简介
本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。 本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数）的测定，测定范围为0.01×1013Cm-3~ 500×1013cm-3。
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