硬面光掩模基板

Hard surface photomask substrates

GB/T 15871-1995现行国家标准

标准状态

发布于：1995-12-22

实施于：1996-08-01

废止

标准号GB/T 15871-1995

标准状态现行

发布日期1995-12-22

实施日期1996-08-01

中国标准分类号L97 加工专用设备

国际标准分类号31.030 电子技术专用材料

主管部门国家标准委

技术归口国家标准委

起草单位长沙韶光微电子总公司

本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板（以下简称基板）。