远程等离子体源的解离率测试方法

Test method for dissociation rate of remote plasma source

T/GVS 015-2024现行团体标准

标准状态

发布于：2024-10-10

实施于：2024-10-10

废止

标准号T/GVS 015-2024

标准状态现行

发布日期2024-10-10

实施日期2024-10-10

中国标准分类号N51 物性分析仪器

国际标准分类号71.040.99 有关分析化学的其他标准

发布部门广东省真空学会

团体名称广东省真空学会

起草单位季华实验室、江苏神州半导体科技有限公司、华南师范大学、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司。

起草人胡强、陈泽廷、郭晓东、杨振怀、黄星星、苏垦英、肖永能、郭远军、何斌、黎天韵、张清培、黄小婵、朱国俊、潘小刚、乐卫平、金名亮、刘涛、林桂浩、林伟群、何志军、张文杰、卫红。

本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60 SLM、功率40 kW以内远程等离子体源的解离率测试。