真空技术 溅射离子泵
标准状态
发布于：2011-12-20
实施于：2012-04-01
废止
基本信息
JB/T 4081-2011
现行
2011-12-20
2012-04-01
工业和信息化部
全国真空技术标准化技术委员会
JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991
北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
朱国精、邹蒙 等
标准简介
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
内容预览
