硅外延片
Silicon epitaxial wafers
标准状态
发布于：2019-06-04
实施于：2020-05-01
废止
基本信息
GB/T 14139-2019
现行
2019-06-04
2020-05-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 14139-2009
浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院
张海英、李慎重、胡金枝、卢立延、蒋玉龙、骆红、李素青
标准简介
本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明 书和订货单（或合同）内容。 本标准适用于在直径不大于150mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
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