真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性
Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement
标准状态
发布于：2023-05-23
实施于：2023-05-23
废止
基本信息
GB/Z 42625-2023
现行
2023-05-23
2023-05-23
中国机械工业联合会
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
中国机械工业联合会
中国机械工业联合会
北京卫星环境工程研究所、上海精密计量测试研究所、沈阳汇真真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司、中国航天科技集团有限公司第五研究院第五一0研究所、重庆云海机械制造有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司
孙立臣、任国华、成永军、孙雯君、翁俊、倪博、言继春、王功发、李唯丹、郭崇武、窦仁超、张子罡、管保国、宋青竹、崔寓淏、周雪茜、赵澜、肖寅枫、唐俊聪、王帆、王莉娜、闫荣鑫、韩琰、刘恩均、李征、陈联、苏玉萍、王玲玲
标准简介
本文件规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。
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