半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门技术规范
Technical specification for perfluoroalkoxy valves for semiconductor manufacturing
标准状态
发布于：2025-05-30
实施于：2025-06-01
废止
基本信息
T/SZZXH 5-2025
现行
2025-05-30
2025-06-01
深圳市战略性新兴产业发展促进会
深圳市战略性新兴产业发展促进会
科讯工业制造(深圳)有限公司、东莞市富强高分子材料有限公司、深圳市恩欣龙特种材料股份有限公司、深圳市维普利精密制造有限公司、金华永和氟化工有限公司、宁波联大塑料管件有限公司、深圳市战略性新兴产业发展促进会
张生洲、张青松、俞诗琳、方锐玲、唐耀卫、刘福华、徐潇宇、徐路、孙向军、姚潺、童森荣、陈思思、陈小丽
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