单晶硅生长用石英坩埚
标准状态
发布于:2007-05-29
实施于:2007-11-01
已废止
基本信息
JC/T 1048-2007
已废止
2007-05-29
2007-11-01
国家发展和改革委员会
中国建筑材料科学研究总院
中国建筑材料科学研究总院、中国建筑材料检验认证中心
张浩运、吴洁 等
标准简介
本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的产品分类与标记、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、储存、运输。本标准适用于用高纯石英做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。