流化床法颗粒硅用籽晶

标准状态

基本信息

标准简介

本文件规定了流化床法颗粒硅生长用籽晶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于以硅多晶为原料，通过筛分或研磨加工成的籽晶，产品主要用于硅烷流化床法生长颗粒硅