热喷涂旋转硅靶材通用技术条件
标准状态
发布于：2019-12-19
实施于：2020-03-19
已废止
基本信息
DB35/T 1873-2019
已废止
2019-12-19
2020-03-19
福建省市场监督管理局
福建省工业和信息化厅
福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。
张科、任小英、陈钦忠、郑建文、林志河、汪家兵、陈丹红。
标准简介
本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于以高纯硅粉为原料，添加微量物质后，采用等离子喷涂工艺，将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。
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