氮化镓激光剥离设备
Laser lift-off equipment used for GaN
标准状态
发布于：2019-06-04
实施于：2019-10-01
废止
基本信息
GB/T 37466-2019
现行
2019-06-04
2019-10-01
31.550
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
孙永健、刘鹏、汪青、丁晓民、冯亚彬
标准简介
本标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN）基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
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