表面化学分析二次离子质谱飞行时间二次离子质谱仪质量标校准

Surface chemical analysis—Secondary ion mass spectrometry—Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer

GB/T 40129-2021现行国家标准

标准状态

发布于：2021-05-21

实施于：2021-12-01

废止

标准号GB/T 40129-2021

标准状态现行

发布日期2021-05-21

实施日期2021-12-01

中国标准分类号G04 基础标准与通用方法

国际标准分类号71.040.40 化学分析

主管部门中国科学院

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国科学院

起草单位中山大学

起草人陈建、谢方艳、杨皓、张浩、龚力、杨慕紫、张卫红

本文件描述了一种用于优化一般分析目的的飞行时间二次离子质谱（SIMS）仪器的质量校准准确度的方法。本文件仅适用于飞行时间仪器，但并不限于任何特定的仪器设计。本文件提供了对一些仪器参数优化的指导，这些参数能使用此程序进行优化，还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。