硅片切割废液处理处置方法
标准状态
发布于:2021-08-21
实施于:2022-02-01
废止
基本信息
HG/T 5962-2021
现行
2021-08-21
2022-02-01
工业和信息化部
全国废弃化学品处置标准化技术委员会
中国石油和化学工业联合会
嘉兴市环科环保新材料科技有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司、广州市环境保护技术设备有限公司、浙江水知音环保科技有限公司、渤海宏铄(连云港)清洁技术有限公司
金月祥、王彦、茹伟原、阮忠强、王立林、金佳媛、陆思伟、倪康、朱鸿宇、王莹、黄正浩
标准简介
本文件规定了硅片切割废液(浆)的组成、处理处置方法、环保排放要求。 本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液(浆)的处理处置。