表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准状态
发布于：2021-05-21
实施于：2021-12-01
废止
基本信息
GB/T 40110-2021
现行
2021-05-21
2021-12-01
中国科学院
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
全国微束分析标准化技术委员会
中国计量科学研究院、华南理工大学
王海、张艾蕊、徐昕荣、范燕、王梅玲、任丹华
标准简介
本文件描述了测量经化学机械抛光或外延生长的硅片上表面元素污染的原子表面密度的TXRF方法。 本文件适用于以下情形：原子序数从16(S)到92(U)的元素；原子表面密度介于1X1010atoms/cm2～1X1014atoms/cm2之间的污染元素；采用VPD（气相分解）样品制备方法得到的原子表面密度介于5X108atoms/cm2~5X1012atoms/cm2之间的污染元素（见3.4）。
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