电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法
标准状态
发布于：2012-05-04
实施于：2012-08-05
废止
基本信息
DB35/T 1248-2012
现行
2012-05-04
2012-08-05
福建省质量技术监督局
福建省化学工业气体标准化技术委员会
福建省化学工业气体标准化技术委员会
国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）
林宇巍、陈熔、陈华、邹震、林永荣、张凤利、陈小娟、叶树海、郑江琳
标准简介
本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。 本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。 各杂质组分的检测限：氢：0.02 μmol/mol、氧（氩）：0.01 μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：0.005 μmol/mol、一氧化碳：0.02 μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。
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