电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
标准状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
废止
基本信息
YS/T 1025-2015
现行
2015-04-30
2015-10-01
工业和信息化部
全国有色金属标准化技术委员会
宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司等
姚力军、王学泽、丁照崇等
标准简介
本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。
内容预览
本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。