硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法

DB35/T 1146-2011已废止地方标准

标准状态

发布于：2011-04-10

实施于：2011-07-10

已废止

标准号DB35/T 1146-2011

标准状态已废止

发布日期2011-04-10

实施日期2011-07-10

中国标准分类号H80 半金属与半导体材料综合

国际标准分类号29.045 半导体材料

发布部门福建省质量技术监督局

技术归口中国科学院福建物质结构研究所

提出单位中国科学院福建物质结构研究所

起草单位中国科学院福建物质结构研究所

起草人黄丰、吕佩文、陈伦泰、王永好、林璋、黄瑾

本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法（GDMS)所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、Na、Mg、A 1、P、K、Th、U等元素的测定