光掩模对准标记规范

Specification for registration marks for photomasks

GB/T 16524-1996现行国家标准

标准状态

发布于：1996-09-09

实施于：1997-05-01

废止

标准号GB/T 16524-1996

标准状态现行

发布日期1996-09-09

实施日期1997-05-01

中国标准分类号L95 电子工业生产设备综合

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门国家标准委

发布部门国家技术监督局

技术归口国家标准委

起草单位中国科学院微电子中心

本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。