工业高纯氢氟酸
标准状态
发布于：2023-12-20
实施于：2024-07-01
废止
基本信息
HG/T 4509-2023
现行
2023-12-20
2024-07-01
工业和信息化部
全国化学标准化技术委员会无机化工分技术委员会
HG/T 4509-2013
中国标准出版社
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标准简介
本文件规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输、贮存。 本文件适用于工业高纯氢氟酸。 注：该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
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