电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer

GB/T 11446.6-1997已废止国家标准

标准状态

发布于：1997-09-01

实施于：1998-09-01

已废止

标准号GB/T 11446.6-1997

标准状态已废止

发布日期1997-09-01

实施日期1998-09-01

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号31.030 电子技术专用材料

主管部门工业和信息化部（电子）

技术归口工业和信息化部（电子）

起草单位中国科学院半导体研究所

本标准规定了电子级水中二氧化硅的分光光度测定方法。本标准适用于电子级水中二氧化硅的测定，分析下限为1ug/L。