靶材与背板结合强度测试方法

Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies

GB/T 39163-2020现行国家标准

标准状态

发布于：2020-11-19

实施于：2021-10-01

废止

标准号GB/T 39163-2020

标准状态现行

发布日期2020-11-19

实施日期2021-10-01

中国标准分类号H22 金属力学性能试验方法

国际标准分类号19.060 机械试验

主管部门中国有色金属工业协会

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国有色金属工业协会

起草单位有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司

起草人丁照崇、陈明、贺昕、林若虚、曹欢欢、王云能、曹晓萌、张静、赵永善、熊晓东、李勇军、张晓娜、袁海军、李利利、王传军

本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。注：靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。