微纳米标准样板(几何量)
Micro nano standard samples（geometric）
标准状态
发布于：2020-11-19
实施于：2021-06-01
废止
基本信息
GB/T 39516-2020
现行
2020-11-19
2021-06-01
中国机械工业联合会
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
中国机械工业联合会
中国机械工业联合会
中国电子科技集团公司第十三研究所、广西壮族自治区计量检测研究院、上海市计量测试技术研究院、珠海市怡信测量科技有限公司、成都工具研究所有限公司、中国计量科学研究院、中国计量大学
李锁印、付兴昌、赵琳、冯亚南、姜志刚、许刚、雷李华、赵军、傅云霞、梁法国、韩志国、许晓青、张晓东、苏翼雄、张恒、张松涛、蔡潇雨
标准简介
本标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。 本标准适用于线间隔为0.05μm ~ 10μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01μm ~ 100μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm ~ 1000nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm ~ 1000nm的纳米线宽标准样板。
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