工业高纯氢氟酸

HG/T 4509-2013已废止行业标准

标准状态

发布于：2013-10-17

实施于：2014-03-01

已废止

标准号HG/T 4509-2013

标准状态已废止

发布日期2013-10-17

实施日期2014-03-01

中国标准分类号G11 无机酸、碱

国际标准分类号71.060.30 酸

发布部门工业和信息化部

技术归口全国化学标准化技术委员会无机化工分会

起草单位浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司等

起草人田志扬、赵晓亚等

本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。