微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第3部分：测试方法

Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chip and sensor—Part 3: Test method

T/CSCP 0059.3-2025现行团体标准

标准状态

发布于：2025-09-01

实施于：2025-10-01

废止

标准号T/CSCP 0059.3-2025

标准状态现行

发布日期2025-09-01

实施日期2025-10-01

国际标准分类号77.060 金属的腐蚀

发布部门中国腐蚀与防护学会

团体名称中国腐蚀与防护学会

起草单位中国电力科学研究院有限公司、北京科技大学、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司

起草人卢壹梁、张强、杨小佳、王晓芳、李晓刚、程学群、韩钰、黄增浩、陈云、郝文魁、孙雷、李清、徐迪、杨丙坤、黄路遥、朱仁政、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、马宏驰

本文件规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器测试项目及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则。本文件适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器的测试。