硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法

Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method

GB/T 38976-2020现行国家标准

标准状态

发布于：2020-07-21

实施于：2021-06-01

废止

标准号GB/T 38976-2020

标准状态现行

发布日期2020-07-21

实施日期2021-06-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位有研半导体材料有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门银固美能源科技有限公司、上海合晶硅材料有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司

起草人王永涛、孙燕、任丹雅、赵志婷、陆敏、林兴乐、徐新华、胡金枝、蔡丽艳、杨素心

本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。本标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5X1015cm-3(0.05ppma)~2.5X1018cm-3(50ppma) 注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。