基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
标准状态
发布于：2020-04-28
实施于：2020-11-01
废止
基本信息
GB/T 38614-2020
现行
2020-04-28
2020-11-01
工业和信息化部（电子）
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
工业和信息化部（电子）
沈阳建筑大学、广东工业大学、苏州昊通仪器科技有限公司、三英精控（天津）仪器设备有限公司、中国计量科学研究院、沈阳理工大学
须颖、戴敬、施玉书、贾静、石怀涛、邵萌、安冬、戴超、文杰
标准简介
本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。 本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。
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