纳米定位与扫描平台术语
Terminology for nano positioning and scaning stage
标准状态
发布于：2020-04-28
实施于：2020-11-01
废止
基本信息
GB/T 38616-2020
现行
2020-04-28
2020-11-01
工业和信息化部（电子）
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
工业和信息化部（电子）
沈阳建筑大学、广东工业大学、苏州昊通仪器科技有限公司、三英精控（天津）仪器设备有限公司、中国计量科学研究院、沈阳理工大学
须颖、戴敬、施玉书、贾静、王贺、安冬、邵萌、戴超、文杰
标准简介
本标准界定了纳米定位与扫描平台（以下简称平台）的术语定义。 本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。
内容预览
