碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法

Test method for stacking faults of polished monocrystalline silicon carbide wafers

GB/T 47082-2026现行国家标准

标准状态

发布于：2026-01-28

实施于：2026-08-01

废止

标准号GB/T 47082-2026

标准状态现行

发布日期2026-01-28

实施日期2026-08-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委