微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
标准状态
发布于：2020-03-06
实施于：2020-07-01
废止
基本信息
GB/T 38447-2020
现行
2020-03-06
2020-07-01
国家标准委
国家标准委
北京大学、北京智芯传感科技有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、北京必创科技股份有限公司、中机生产力促进中心、沈阳国仪检测技术有限公司、中北大学
张威、张亚婷、朱悦、石云波、周浩楠、陈得民、于振毅、陆学贵、李海斌、程逸轩
标准简介
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。 本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
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