微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
标准状态
发布于：2020-03-06
实施于：2020-10-01
废止
基本信息
GB/T 38446-2020
现行
2020-03-06
2020-10-01
国家标准委
国家标准委
北京大学、北京智芯传感科技有限公司、中北大学、中机生产力促进中心、无锡华润上华科技有限公司、北京必创科技股份有限公司
张威、李海斌、夏长奉、石云波、程红兵、周浩楠、张亚婷、朱悦、陈得民、马书嫏
标准简介
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。 本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
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