碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
标准状态
发布于：2024-09-29
实施于：2025-04-01
废止
基本信息
GB/T 44538-2024
现行
2024-09-29
2025-04-01
中国机械工业联合会
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
中国机械工业联合会
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