氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定气相色谱质谱联用法

YS/T 1300-2019现行行业标准

标准状态

发布于：2019-08-02

实施于：2020-01-01

废止

标准号YS/T 1300-2019

标准状态现行

发布日期2019-08-02

实施日期2020-01-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

发布部门工业和信息化部

本标准适用于氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的测定，3种含碳化合物的测定范围均为0.1 mg/kg～1000 mg/kg。