氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法
Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method
标准状态
发布于：2018-09-17
实施于：2019-06-01
废止
基本信息
GB/T 36705-2018
现行
2018-09-17
2019-06-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子技术标准化研究院
郑树楠、张育民、王建峰、徐科、丁晓民、陆敏、石林、邱永鑫、付雪涛、杨素心、杨建
标准简介
本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。 本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：1×1017cm-3～1×1020cm-3。
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